1.材质:耐高温型、一般型(透明特种树酯)、薄型(PEEK)
2.使用氮气3kg-5kg
3.耐热度:60˙C-400˙C
4.厚度:6mm-18mm
5.使用场景:晶圆片朝下吸附(由下而上)、可实现180度翻转及吸附、外延炉取片
1.材质:耐高温型
一般型(透明特种树酯)
薄型(PEEK)
2.使用氮气3kg-5kg
3.耐热度:60˙C-400˙C
4.厚度:6mm-18mm
5.使用场景:晶圆片朝下吸附(由下而上)、可实现180度翻转及吸附、外延炉取片

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