
解决方案:
a.衬底厂:使用选别机,利用悬浮非接触吸盘加多卡匣区分不同比例的异常分类
b.外延厂:使用选别机(悬浮非接触吸盘+OCR的视觉辨识率)提升产品可靠度使用外延炉自动取放机,降低破损率
c.器件厂:半自动目检工作台,悬浮非接触吸盘+分选功能,可避免人为的干预
选别机(悬浮非接触吸盘+OCR准确识别率+多个卡匣可分选)可降低破片率
真空蒸镀传送机,全自动化,避免人工干预造成的晶圆片破损
核心技术:真 善 美
1. 真:气悬浮非接触式吸盘,完全隔离污染。
2. 善:软件为设备功能核心,无限提升设备功能,减化软件配置,主动降低机械故障率至最低。
3. 美:最美的页面设计,达到一目了然,使用方便,快速学会操作。